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장비 상세정보

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1차 세정기 (Pre-Cleaning System)

1차세정기.jpg

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사용용도
표준분류 기계가공/시험장비
모델명 PCS
제작사 세신테크
구축일자 2010. 02. 24
보유기관 전북대 신재생에너지소재개발지원센터
장비설명 태양광 웨이퍼 세정
구성 및 성능 3-1. System Layout
          3-1-1. Main Body Size : 4200(W) * 2300(D) * 2610(H)
              - Frame : SS41 Angle  & Square Rod
                        Anti-Acid Paint Coated
              - Body : Ivory - PVC
          3-1-2. System Lay Out : 별도 첨부
          3-1-3. Piping and Instrumentation diagram : 별도 첨부
          3-1-4. System Configuration : 별도 첨부

      3-2. Process Flow
          3-2-1. Lot Flow : Saw’g Ingot Block + Basket Jig
                          우(Right)에서 좌(Left)로 Flow
          3-2-2. Loader Type : Wet Cart Docking _ 1 Ingot / 1Cart
          3-2-3. Unloader Type : Wet Cart Docking _ 1 Ingot / 1Cart

      3-3. General Spec
          3-3-1. 전장 Box 설치 : PLC외 전기 Part (Rear Top Area/장비내부)
          3-3-2. DIW & CDA Gun 설치 : At Front Sink “R” & “L” Of Tank
                Cabinet With Circulation Piping
          3-3-3. Exhaust Hood : VP200 & VP150
          3-3-4. Front Safety Sensor 설치
          3-3-5. Detergent LCSS Unit (1set) 설치 : Rear Area / 장비 외부
          3-3-6. DIW Buffer Tank (1set) 설치 : Rear Area / 장비 외부
          3-3-7. Measuring Tank (1set) 설치 : DIW Buffer Tank / 장비내부
          3-3-8. Hot DIW Tank (1set) 설치 : Rear Top Area / 장비 내부
사용예 웨이퍼 세정