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장비 상세정보

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2차 세정기 (Final-cleaning system)

2차세정기.jpg

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사용용도
표준분류 기계가공/시험장비
모델명 FCS
제작사 세신테크
구축일자 2013. 05. 21
보유기관 전북대 신재생에너지소재개발지원센터
장비설명 웨이퍼 최종 세정 및 메탈오염 제어
구성 및 성능 3-1. System Layout
3-1-1. Main Body Size : 4550(W) * 2300(D) * 2150(H)
  - Frame : SS41 Angle  & Square Rod
                        Anti-Acid Paint Coated
              - Body : Ivory – PVC           
          3-1-2. System Lay Out : 별도 첨부
          3-1-3. Piping and Instrumentation diagram : 별도 첨부
  3-1-4. System Configuration : 별도 첨부
3-2. Process Flow
          3-2-1. Lot Flow : 156 * 156 Solar Wafer 100pcs x 1Cassette
                          우(Right)에서 좌(Left)로 Flow
          3-2-2. Loader Type : 100pcs용 1 Cassette Wet Cart
          3-2-3. Unloader Type : Dry _ 1 Cassette * 2Row (장비 내부)

      3-3. General Spec
          3-3-1. 전장 Box 설치 : PLC외 전기 Part (Rear Top Area/장비 내부 )
          3-3-2. DIW & CDA Gun 설치 : At Front Sink “R” & “L” Of Tank
                Cabinet With Circulation Piping
          3-3-3. Exhaust Hood : VP200 & VP150
          3-3-4. Front Safety Sensor 설치
          3-3-5. Detergent, KOH, H2O2 LCSS Unit (1set) 설치:
                Rear Area / 장비 외부
          3-3-6. HOT Blower (1set) 설치 : Rear Area / 장비 외부
          3-3-7. HOT DIW Tank (2set) 설치 : Rear Top Area /장비 내부
          3-3-8. Measuring Tank (4set) 설치 : Rear Top Area /장비 내부
사용예 웨이퍼 최종 세정 및 메탈오염 제어