장비 상세정보
유-무기 Evaporator System (Organic & Inorganic EVAPORATOR system) | |||||||||||||
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장비설명 | 유기태양전지 제조 | ||||||||||||
구성 및 성능 | <Organic evaporator> • Sources : 7cc * 4ea • Chamber size : SUS 304L, 350*350*550 • Substrate : 6", D.C 90V Moter(0~30rpm) • Pump : Turbo pump(400L/sec N2) • Vacuum gauge : 979B: ATM ~ 5*10E-10torr <Inorganic evaporator (E-beam)> • Pocket : 4 pocket*7cc/270° • Max. emission current:725mA • Chamber size : SUS 304L, 350*350*550 • Substrate : 6", D.C 90V Moter(0~30rpm) • Pump : Turbo pump(650L/min) • Vacuum gauge : ATM ~ 5*10E-10 torr <Control unit and glove box - Load-lock system> • Frame & controller unit |
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사용예 | 유기태양전지 제조 |