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유-무기 Evaporator System (Organic & Inorganic EVAPORATOR system)

Evaporator .jpg

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사용용도
표준분류 기계가공/시험장비
모델명 OC-MC evaporator system
제작사 ㈜KVT,우성하이벡
구축일자 2010. 06. 25
보유기관 전북대 신재생에너지소재개발지원센터
장비설명 유기태양전지 제조
구성 및 성능 <Organic evaporator>
•  Sources : 7cc * 4ea
• Chamber size : SUS 304L, 350*350*550
• Substrate : 6", D.C 90V Moter(0~30rpm)
• Pump : Turbo pump(400L/sec N2)
• Vacuum gauge : 979B: ATM ~ 5*10E-10torr
<Inorganic evaporator (E-beam)>
• Pocket : 4 pocket*7cc/270°
• Max. emission current:725mA
• Chamber size : SUS 304L, 350*350*550
• Substrate : 6", D.C 90V Moter(0~30rpm)
• Pump : Turbo pump(650L/min)
• Vacuum gauge : ATM ~ 5*10E-10 torr
<Control unit and glove box - Load-lock system>
• Frame & controller unit
사용예 유기태양전지 제조