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장비 상세정보

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솔라셀웨이퍼식각기 (Solar Cell Wafer Etcher)

식각기(웨).jpg

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사용용도
표준분류 기계가공/시험장비
모델명 Solar Cell Wafer Etcher
제작사 두리텍
구축일자 2010. 02. 24
보유기관 전북대 신재생에너지소재개발지원센터
장비설명 Si Wafer의 순수 세정 및 식각
구성 및 성능 <main Body>
• Size(mm): 2400x1200x1985
<Wet Station Module>
• Chemical DIP Bath, 4set
• QDR Rinse Bath, 4set
• DI Rinse Sink, 1set
사용예 Si Wafer의 순수 세정 및 식각