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장비 상세정보

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미세영역용냉전계방사형전자현미경 (Critical Dimension Cold Field Emission Scanning Electron Microscope with EDX system)

미세영역전자현미경.jpg

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사용용도
표준분류 광학/전자 영상장비
모델명 S-4800
제작사 Hitachi
구축일자 2008. 08. 05
보유기관 전북대 신재생에너지소재개발지원센터
장비설명 시료의 표면 및 정성/정량 분석
구성 및 성능 • 해상도 : 1.0nm at 15kV, 1.4nm at 1kV
• 배율 : × 20 ~ × 800,000
• 최대시료 크기 : 100mm
• EDX : 수소 및 난탄족 일부를 제외한 원소가능
사용예 시료의 표면 및 정성/정량 분석