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장비 상세정보

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Oi와 Cs측정용 적외선분광기 (FT-IR Oi,Cs Measurement System)

사본 -ft-ir.jpg

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사용용도
표준분류 화합물 전처리/분석장비
모델명 QS-1200
제작사 나노메트릭스
구축일자 2012. 06. 07
보유기관 전북대 신재생에너지소재개발지원센터
장비설명 1. 솔라셀용 slug와 wafer 내의 탄소와 산소를 측정하는 장비로써 웨이퍼 분석, 품질관리에 필수 장비
2. 물질에 적외선을 조사했을 때 물질이 특정한 적외선을 흡수함으로써 스펙트럼을 얻을 수 있음.
구성 및 성능 • 태양광 웨이퍼 측정 범위: 최소 100um에서 최대 3000um
• 산소 측정 범위 : 3 ~ 40ppma, Precision : 0.1ppma
• 탄소 측정 범위 : 0.1 ~ 10ppma, Precision : 0.1ppma,
• Spectroscopic specifications
  - Spectral range : 1500~280cm-1, optimized for semiconductor applications.
  - Spectral resolution: up to 0.5cm-1
사용예 실리콘 잉곳의 산소 탄소 농도 측정을 위해서 Wafer/Slug 시편을 제작하여 샘플의 산소 탄소 농도를 측정함