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장비 상세정보

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확산로 (Solar & Semiconductor Furnace)

확산로.jpg

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사용용도
표준분류 기계가공/시험장비
모델명 SYS-1
제작사 성진세미텍
구축일자 2010. 02. 19
보유기관 전북대 신재생에너지소재개발지원센터
장비설명 화합물 반도체 전자소자/광소자/나노소자의 디바이스 제조 공정
구성 및 성능 1) Tube Unit
  • Heater 사양
    - Kanthal A-1 Wire Molding Type
    - 열선 : Kanthal A-1 Wire
    - Power : 380V 3P 30KW
  • Insulation
    - High Temp Alumina Board
    - High Temp Ceramic Fiber
  • Temp Sensor
    - R-Type Thermocouple
    - 소선 : Ø1.2
    - 절연관 : High Alumina Tube
    - 보상도선 : R-Type 규격
  • Tube Mask : SUS304 Water Cooling
    - GAS IN, OUT Line
    - Water Line구동 방식                           
  • Tube Door 자동개폐 장치
  • Tube Size : ID Φ300  × OD Φ308  × 1300 L
2)  Tray Feeding Unit 
  • Tray Material : Quartz
  • Wafer Loading Q'ty : 30sheet
  • Tray Up & Down Unit : Linear Module+Servo Motor     
3) Gas Delivery Unit
  • MFC 사용 : O2(1L/min), N2(10L/min), C-N2(1L/min)
  • Dopant : POCl3 용액
  • 항온조 사용 : 15 ~ 30±0.1℃ 자동 조절
  • 배기량 자동조절
    - Manual Teflon Valve 사용
    - Manometer 사용
    - POCl3 용액 Filter Tank 사용
4) Frame Enclosure System 지지용 하부 Frame 및 안전용 Enclosure
5)  제어방식 : PID PLC 제어/3 Zone
  • Program PID Control/3 Zone
  • UP-550 Controller(YOKOGAWA)
  • P/C Controll(Pentium4이상), GUI환경
  • Data취합 및 Trend기능
  • 과열차단장치
사용예 - Low Temperature Oxide증착
- Low Stress Nitride 증착 등