장비 상세정보
| 소수 캐리어 수명 측정장치 (Minority carrier lifetime checker) | |||||||||||||
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| 장비설명 | 본 장치는 소수 캐리어의 수명을 u-PCD방식을 이용하여 높은 해상도로 측정(비파괴, 비접촉방식) - 낮은 비저항의 측정물을 정밀하게 측정 - 표면처리를 통하여 표면재결합 속도를 감소시켜 벌크 수명의 측정이 가능 - 최적의 초단파 주파수를 찾아내어 블럭 및 웨이퍼를 각각 측정 |
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| 구성 및 성능 | • 측정 해상도 : (0.25), 0.5, 1, 2, 4, 8, 16mm • 최대 측정가능 위치 : 360,000 • 측정속도 : 개당 30ms • 측정가능 범위 : 0.1us ~ 30ms • 샘플비저항범위 : 0.1 ~ 1,000Ω/cm |
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| 사용예 | 다양한 두께 및 일정하지 않은 모양의 블록, 질화막 및 산화막이 형성된 웨이퍼까지 측정 | ||||||||||||
