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장비 상세정보

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소수 캐리어 수명 측정장치 (Minority carrier lifetime checker)

소수캐리어.jpg

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사용용도
표준분류 기계가공/시험장비
모델명 WT-2000PVN
제작사 Semi lab
구축일자 2011. 04. 20
보유기관 전북대 신재생에너지소재개발지원센터
장비설명 본 장치는 소수 캐리어의 수명을 u-PCD방식을 이용하여 높은 해상도로 측정(비파괴, 비접촉방식)
  - 낮은 비저항의 측정물을 정밀하게 측정
  - 표면처리를 통하여 표면재결합 속도를 감소시켜 벌크 수명의 측정이 가능
  - 최적의 초단파 주파수를 찾아내어 블럭 및 웨이퍼를 각각 측정
구성 및 성능 • 측정 해상도 : (0.25), 0.5, 1, 2, 4, 8, 16mm
• 최대 측정가능 위치 : 360,000
• 측정속도 : 개당 30ms
• 측정가능 범위 : 0.1us ~ 30ms
• 샘플비저항범위 : 0.1 ~ 1,000Ω/cm
사용예 다양한 두께 및 일정하지 않은 모양의 블록, 질화막 및 산화막이 형성된 웨이퍼까지 측정