장비 상세정보
| 면저항측정기 (sheet resistance/resistivity measurement system) | |||||||||||||
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| 장비설명 | 수동레버식 접촉시스템으로 220X220mm stage에 시료를 올려놓고, 버튼하나로 간편하게 고정밀 4탐침을 이용하여 면저항을 측정하고 LCD창을 이용하여 측정결과를 ohm/sq단위로 바로 알 수 있음. | ||||||||||||
| 구성 및 성능 | 1) Sheet resistance measurement • Measuring method : Contacted by 4-point probe • Measuring range : 1 mohm/sq ∼ 2 Mohm/sq • Measuring point : Center 1 point 2) Resistivity measurement • Measuring method : Contacted by 4-point probe(Input thickness) • Measuring range : 10.0 μOhm·cm ∼ 200.0 kOhm·cm(VLSI standard wafer) • Measuring point : Center 1 point 3) Current source • 10nA to 100mA • DVM 0V to 2,000mV] 4) Measurement accuracy • ±0.5 % (Precision resistor) 5) Jandel 4-point probe (100S는 시그나톤probe) • Pin spacing : 20 mils∼ 50 mils • Pin Load : 10 gram/pin ∼ 250 gram/pin • Pin radius : 12.5 micron ~ 500 micron |
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| 사용예 | 면저항/비저항/금속박막두께/절연체 고저항 등 측정 | ||||||||||||
