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면저항측정기 (sheet resistance/resistivity measurement system)

면저항측정기.jpg

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사용용도
표준분류 광학/전자 영상장비
모델명 CMT-100MP
제작사 Atlas Copco
구축일자 2010. 07. 20
보유기관 전북대 신재생에너지소재개발지원센터
장비설명 수동레버식 접촉시스템으로 220X220mm stage에 시료를 올려놓고, 버튼하나로 간편하게 고정밀 4탐침을 이용하여 면저항을 측정하고 LCD창을 이용하여 측정결과를 ohm/sq단위로 바로 알 수 있음.
구성 및 성능 1) Sheet resistance measurement   
  • Measuring method : Contacted by 4-point probe
  • Measuring range : 1 mohm/sq ∼ 2 Mohm/sq
  • Measuring point : Center 1 point   
2) Resistivity measurement   
  • Measuring method : Contacted by 4-point probe(Input thickness)
  • Measuring range : 10.0 μOhm·cm ∼ 200.0 kOhm·cm(VLSI standard wafer)
  • Measuring point : Center 1 point 
3) Current source
  • 10nA to 100mA
  • DVM 0V to 2,000mV]
4) Measurement accuracy
  • ±0.5 % (Precision resistor)
5) Jandel 4-point probe (100S는 시그나톤probe)
  • Pin spacing : 20 mils∼ 50 mils
  • Pin Load : 10 gram/pin ∼ 250 gram/pin
  • Pin radius : 12.5 micron ~ 500 micron
사용예 면저항/비저항/금속박막두께/절연체 고저항 등 측정