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태양전지 웨이퍼 식각기 (Solar Cell Wafer Etcher)

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사용용도
표준분류 기계가공/시험장비
모델명 Wet Station
제작사 두리텍
구축일자 2014. 03. 31
보유기관 전북대 신재생에너지소재개발지원센터
장비설명 Si Wafer의 순수 세정 및 화학약품을 사용하는 식각 공정을 위한 장치로 에칭공정 순수 세정공정을 연속적으로 수행할 수 있는 Manual Wet Station 장치
구성 및 성능 • Size(mm): 1800x1000x1985
• Frame: SS41 Square pipe frame with anti-corrosive paint coated
• Body: Press Ivory PVC 8t 5t covering
• Pipe plumbing: PFA tube & C-PVC PVC pipe
• Anti Static N2 Gun 2set
• Anti Static DI Gun 2set
• Work Plate: LDPP
• Up/Down Door Open
• Regulator: N2 Air
• Lamp: Yellow 20W 2ea
• 220V 2구Consent 선반장착
• Drain line: Local line
• Exhaust Line & Damper Blower
• Controller: S/W control panel
사용예 태양전지 웨이퍼의 식각